一、产品介绍

欧洲进口Furon UPM3-888阀是法国圣戈班（Saint-Gobain）旗下Furon品牌UPM3系列中的一款高纯气动隔膜阀，型号中"UPM3"代表气动驱动三通隔膜阀系列，"888"为接口规格编码即1/2英寸Nippon Pillar Super300高纯扩口接头，通径1/2英寸，完整规格代码为UPM3-S30088。该产品专为半导体、光伏、生物医药等超高纯工艺场景设计，是强腐蚀酸碱药液输送管路中实现自动通断与多路切换的核心流体备件，整机无任何外露金属部件接触介质，完全杜绝金属离子污染晶圆与光伏基板，符合SEMI半导体产业协会相关标准。

二、功能特点

1 全氟塑料无金属过流结构

阀体采用模塑高纯PFA一体成型，密封隔膜为改性纯PTFE，上盖执行器外壳为ETFE氟塑料，整机无任何金属接触工艺介质，从根本上消除金属离子析出与颗粒脱落风险，满足电子行业ppb级超高纯度工艺要求，百级洁净室组装、双层真空包装出厂。

2 气动三通常闭流路与一阀多切换

三通流路布局包含公共COM口、常闭NC口、常开NO口，气源通气即可切换流路，单台阀实现药液分配、回路切换、管路排空三种功能，替代传统多阀组合方案，大幅减少管路接头数量与泄漏风险。

3 全圆弧流道与双层隔膜零外漏

流道采用全圆弧扫掠式设计无死角积液，不易结晶与滋生残留污染物。双层隔膜结构密封性能优异，无外漏风险，适配有毒及昂贵介质的传输控制，长期运行不因隔膜老化导致泄漏。

4 可视化状态指示与漏液监测

顶部配备红色可视化位置指示，现场直观判断阀门开关状态。标配泄漏检测监测口，隔膜一旦破损即刻输出报警开关量，实现故障提前预警，降低产线非计划停机风险。可选配光纤感应传感器接入PLC做远程状态采集。

5 360度旋转安装与百万次寿命

一体式旋转安装底座支持阀体360度旋转固定，适配狭小设备机架多方向管路布局。气动执行器寿命≥300万次往复动作，隔膜耐疲劳不易开裂，可选手动锁定装置检修时强制锁死阀位防止误动作漏液。

三、选型指南

1 确认接口规格与管路匹配

888后缀代表1/2英寸Super300高纯扩口接头，若现场管路为卡套或对焊接口需确认是否有对应转接版本。必须严格按扩口标准加工管路端面，避免转接带来额外漏点与污染风险。

2 确认介质兼容性与隔膜材质

标准版PTFE隔膜适配氢氟酸、浓盐酸、强碱、有机溶剂及各类蚀刻清洗药液。若输送高浓度氢氟酸等极端腐蚀介质需确认是否选配改性PFA隔膜版本。长期工作温度超过120℃需选耐高温特供款避免隔膜寿命缩短。

3 确认气源条件与控制需求

气动驱动标准供气压力4.8~6.2bar（70~90PSI），气源接口1/8"UNF内螺纹。若需接入PLC自动控制需选配24V DC微型二位五通电磁阀驱动阀体，同时确认是否需要阀位光纤感应传感器反馈开关到位信号。

4 确认环境与认证要求

标准版工作温度-53℃至+95℃，环境最高50℃。出口欧美半导体设备必须确认CE认证与SEMI标准符合性。功能安全场合可加配解析器模块实现双路冗余监测满足SIL等级要求。

四、技术参数

1 核心规格参数

型号：UPM3-888（UPM3-S30088）。类型：气动三通常闭隔膜阀。通径：1/2英寸（DN15）。额定流量：Cv=3.2。额定工作压力：最大100psig（6.9bar），背压耐受最高100psig。中位机能：NC常闭（气源断气自动关闭）。气源压力：4.8~6.2bar（70~90PSI）。气源接口：1/8"UNF内螺纹。线圈/驱动：气动（无线圈），配24V DC二位五通电磁阀可选。

2 材质与环境参数

阀体：高纯PFA。隔膜：改性纯PTFE。上盖：ETFE。密封：全氟塑料无金属。工作温度：-53℃至+95℃。环境温度：最高50℃。防护等级：IP65（执行器腔）。流量系数：Cv=3.2。气动响应时间：≤1秒。执行器寿命：≥300万次。整机重量：约0.45kg。

3 电气与信号参数

驱动方式：气动4.8~6.2bar。泄漏检测：标配监测口输出报警开关量。阀位反馈：可选无源/PNP光纤传感器。泄漏等级：零外漏（双层隔膜）。绝缘耐压：端子对地2000VAC/1min。认证：CE、符合SEMI标准、RoHS。洁净等级：10级洁净室清洗组装。

五、产品尺寸

1 主体尺寸

UPM3-888因1/2英寸通径而体积紧凑，阀体长度约95mm（含执行器），宽度约50mm，高度（含执行器）约85mm，整机重量约0.45kg。Super300扩口接头外径约16mm，适配标准1/2英寸高纯管路。

2 接口与安装尺寸

进液口P与回液口T为1/2英寸Super300扩口接头，工作口A（常闭NC）与B（常开NO）同为1/2英寸扩口接头。气源接口为1/8"UNF内螺纹。顶部为红色可视化指示窗与泄漏检测口。底部为360度旋转安装底座配锁紧螺母，可直接固定于设备面板或机架。

六、应用领域

1 半导体晶圆刻蚀与清洗

广泛用于12英寸晶圆制造湿法刻蚀、清洗工艺台的药液分配管路，零金属污染特性确保晶圆表面不受离子污染，三通切换功能实现多槽药液自动分配与排空，是半导体前端制程的核心流体控制元件。

2 光伏电池片制绒与酸洗

部署于光伏电池片制绒、清洗、酸洗设备的高纯化学品输送系统，耐氢氟酸与强酸碱特性替代不锈钢阀门解决腐蚀渗漏与金属析出问题，气动三通集成简化管路布局减少接头泄漏点。

3 平板显示与生物医药

用于LCD/OLED蚀刻高纯化学品输送系统及生物医药无菌原料药生产、疫苗制备的流体传输环节，全氟塑料无金属过流满足制药行业GMP与超高纯要求，泄漏监测实现故障提前预警降低停机风险。

4 锂电正极材料与高纯试剂

适配锂电池正极材料腐蚀浆料输送自动化产线及实验室高纯酸碱自动供给装置，耐全品类强腐蚀酸碱，气动百万次寿命减少频繁更换成本，手动锁定装置便于检修时安全隔离。

七、总结

欧洲进口Furon UPM3-888以UPM3气动三通隔膜阀为核心，1/2英寸Super300高纯扩口接口通径、Cv=3.2流量系数、额定压力6.9bar，全氟塑料PFA/PTFE/ETFE无金属过流结构彻底杜绝离子污染，气动常闭三通一阀实现药液分配切换排空三合一功能，双层隔膜零外漏配泄漏检测监测口实现故障预警，红色可视化指示与可选光纤传感器支持现场与远程双重状态监控，360度旋转安装适配狭小机架多方向布局，气动执行器300万次寿命与PTFE隔膜耐HF强腐蚀特性确保长期稳定运行，工作温度-53℃至+95℃覆盖低温物料传输至高温清洗全工况，完全符合SEMI与CE标准可出口欧美半导体及光伏产线。针对具体场景，管路为卡套接口确认转接版本、极端腐蚀介质选改性PFA隔膜、需自动控制配24V DC二位五通电磁阀、需远程监控选光纤传感器版本、检修安全加手动锁定装置、长期超120℃选耐高温特供款，是高纯强腐蚀流体控制领域经过全球大量半导体与光伏现场验证的经典隔膜阀方案。

对于需要进一步了解或采购相关产品的用户，建议联系上海萨帛机电控制系统有限公司info@sahbore.com，以获取详细的技术规格和专业的客户支持