一、产品介绍

进口INFICON 375-001 CDG025D电容压力计是德国INFICON公司SKY® Smart传感器系列中的高精度真空计，专为恶劣工业环境设计。它采用电容式隔膜传感技术，结合数字电子元件，可实现高精度的压力测量，广泛应用于半导体制造、真空镀膜、工业真空设备等领域。

二、功能特点

1. 高精度测量：测量范围0.005 Torr至10 Torr（0.0007 Pa至1333 Pa），精度达读数的0.2%，分辨率0.0003 Torr（0.00004 Pa），满足半导体工艺对真空度的严苛要求。

2. 温度补偿：温度补偿范围覆盖+10°C至+50°C，减少环境温度波动对测量结果的影响。

3. 抗腐蚀设计：传感器采用超纯陶瓷材料，可耐受腐蚀性介质及大气压冲击，预期寿命达数百万次压力循环。

4. 防污染设计：独特的传感器屏蔽设计防止过程污染，确保长期信号稳定性。

5. 快速响应：通电后100毫秒内达到稳定状态，从大气压暴露中恢复速度极快，适应频繁启停的工业场景。

6. 便捷操作：支持一键零点校准和设定点调整，简化调试流程。

7. 智能通信：提供0-10VDC模拟输出信号，兼容D-sub 15针或BNC电气接口，便于与控制系统集成。

三、选型指南

1. 测量范围：CDG025D标准量程为0.005 Torr至10 Torr，若需覆盖更广范围（如100 Torr或1000 Torr），需选择同系列其他型号（如377-001或375-000）。

2. 法兰接口：标配DN 16 ISO-KF法兰接口，若系统接口为1/2英寸管、DN 16 CF-R或8 VCR，需选择对应法兰类型的型号。

3. 电气接口：根据控制系统要求选择D-sub 15针或BNC电气接口，并确认模拟输出信号为0-10VDC线性输出。

4. 特殊需求：若需RS232接口或双设定点功能，可选择带可选配置的型号（如375-001-RS232）。

5. 工作温度：若工作温度超出+10°C至+50°C范围，需评估温度补偿效果或选择特殊型号。

四、技术参数

1. 测量范围：0.005 Torr至10 Torr（0.0007 Pa至1333 Pa）

2. 精度：读数的0.2%

3. 分辨率：0.0003 Torr（0.00004 Pa）

4. 法兰接口：DN 16 ISO-KF

5. 电气接口：D-sub 15针（male）或BNC

6. 模拟输出：0-10VDC（线性输出）

7. 电源电压：+13V至+32V DC，功耗≤0.3W

8. 响应时间：100毫秒

9. 防护等级：IP40

10. 温度补偿范围：+10°C至+50°C

11. 操作环境：0°C至+70°C，湿度<80%RH（非冷凝）

12. 储存环境：-20°C至+85°C

五、产品尺寸

INFICON 375-001 CDG025D电容压力计采用紧凑型设计，适配空间有限的工业设备安装需求。其法兰尺寸为DN 16 ISO-KF标准接口，直径约16mm，适配对应管路连接。电气接口尺寸符合标准工业规范，便于线缆对接。

六、应用领域

1. 半导体制造：用于刻蚀（Etch）、化学气相沉积（CVD）、物理气相沉积（PVD）、原子层沉积（ALD）等设备的真空压力监测，确保工艺稳定性。

2. 数据存储与显示：为硬盘驱动器、液晶面板制造过程中的真空环节提供压力测量支持，提升产品良率。

3. 工业真空设备：适配真空烘箱、拉伸机、镀膜机等设备，实现精确的压力控制与过程监控。

4. 食品包装：用于真空包装机的压力检测，优化包装密封性，延长食品保质期。

5. 其他领域：适配化工清洗、食品加工等环境的通用高精度压力测量需求。

七、总结

进口INFICON 375-001 CDG025D电容压力计凭借其高精度、抗腐蚀、快速响应及便捷操作等特性，成为工业真空测量的理想选择。其温度补偿功能与防污染设计显著提升了设备在恶劣环境中的稳定性，而一键校准与设定点调整功能则简化了维护流程。该产品广泛应用于半导体、数据存储、食品包装等领域，为高精度压力测量提供了可靠解决方案。选型时需重点关注测量范围、法兰接口及电气信号匹配，以确保与现有系统的无缝集成。

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