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INFICON 398-483 VGC503是一款三通道真空压力表控制器,专为工业真空系统设计,可与INFICON系列真空计(如PSG、PCG、PEG、MAG等)配合使用,实现对多个测点的总压力测量与控制

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一、产品介绍

INFICON 398-483 VGC503是一款三通道真空压力表控制器,专为工业真空系统设计,可与INFICON系列真空计(如PSG、PCG、PEG、MAG等)配合使用,实现对多个测点的总压力测量与控制。其核心功能包括三通道独立监测、数据记录、报警阈值调节及远程通信,适用于半导体制造、数据存储、工业真空设备等需要高精度真空测量的场景。

二、功能特点

  1. 三通道独立控制
    每个通道可单独配置参数,包括测量单位(mbar、Torr、Pa等)、滤波时间、报警阈值等,满足不同测点的个性化需求。

  2. 高精度与宽量程
    支持10⁻¹⁰至1500 mbar(10⁻¹⁰至1125 Torr)的完整压力范围测量,分辨率达16位A/D转换,确保数据准确性。

  3. 数据记录与导出
    内置数据记录功能,可通过USB存储器存储测量数据,记录间隔可设为1秒、10秒或1分钟,便于后续分析。

  4. 远程通信与控制
    提供USB Type A(连接存储器)、USB Type B(连接计算机)及以太网接口,支持远程监控、参数调整及固件升级。

  5. 报警与自我诊断
    内置报警功能,可根据预设阈值触发继电器动作,支持压力高于上限或低于下限等多种报警逻辑;同时具备自我诊断功能,可监测传感器连接状态及内部电路故障。

  6. 用户友好界面
    前面板配备LCD显示屏及LED背光源,支持点阵式菜单引导操作,可直观显示各通道压力值、状态信息及条形图趋势。

三、选型指南

  1. 通道数量需求
    VGC503为三通道控制器,适合需同时监测3个位置压力的场景;若仅需1个或2个通道,可选择同系列VGC501(单通道)或VGC502(两通道)。

  2. 真空计兼容性
    确认使用的真空计型号(如PSG、PCG、PEG等)是否与VGC503兼容,避免因接口不匹配导致功能受限。

  3. 通信接口需求
    若需远程控制或数据传输,优先选择配备以太网接口的型号;若仅需本地存储数据,确保配备USB存储器。

  4. 环境适应性
    VGC503工作环境温度为0-70℃,相对湿度≤80%(31℃以下);若环境超出此范围,需采取额外防护措施(如加热或冷却装置)。

四、技术参数

  • 电源供应:100-240V AC,频率50-60Hz,电压允许波动范围±10%

  • 工作电流:最大90W

  • 通道数量:3个独立通道,每个通道支持连接1个真空计

  • 兼容真空计类型:PSG、PCG、PEG、MAG、MPG、BPG、HPG、BCG、CDG等系列

  • 通信接口:USB Type A(前端,连接存储器)、USB Type B(后端,连接计算机)、以太网接口(后端)

  • 环境温度:0-70℃

  • 相对湿度:≤80%(31℃以下),50%(40℃)

  • 防护等级:IP30

  • 安装方式:可安装于19英寸机架、控制面板或作为桌面设备使用

  • 显示分辨率:支持1-4位数字显示,可自动适配压力值范围

五、产品尺寸

  • 外形尺寸:长度285mm,宽度106.3mm,高度203.5mm(不含安装配件)

  • 安装适配:安装于19英寸机架时,需配合机架适配器,适配器高度符合DIN 41494标准

  • 设备重量:约1.14kg,适合在有限空间内安装

六、应用领域

  1. 半导体制造
    用于蚀刻(Etch)、化学气相沉积(CVD)、物理气相沉积(PVD)等设备的真空系统监测,确保工艺稳定性。

  2. 数据存储与显示设备
    支持薄膜沉积、溅射等工艺的压力控制,提升产品良率。

  3. 工业真空设备
    如真空干燥机、真空炉等,可实现多区域压力监测与调节,优化设备运行效率。

  4. 科研与实验室
    适用于高真空环境下的实验研究,如材料科学、表面物理等领域。

七、总结

INFICON 398-483 VGC503真空压力表控制器凭借其三通道独立控制、高精度测量、灵活的数据记录及远程通信功能,成为工业真空系统的理想选择。其兼容多种INFICON真空计,适应不同压力范围需求,同时支持固件升级以扩展功能。选型时需重点关注通道数量、真空计兼容性及通信接口需求,以确保与现有系统的无缝集成。该产品广泛应用于半导体、数据存储、工业真空等领域,为高精度真空测量提供了可靠解决方案。

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