INFICON VGC503 是一款三通道真空压力控制器，专为过程测量、控制和数据记录设计。它适用于单个真空计或真空计组的监控和记录，能够测量从 10⁻¹⁰ 至 1500 mbar（10⁻¹⁰ 至 1125 Torr）的压强范围。该控制器具有高分辨率的 -16 位 A/D 转换器，能够提供精确的测量数据，并支持自动识别 INFICON 主动式真空计

一、产品介绍

INFICON VGC503 是 INFICON 公司推出的一系列真空计控制器之一，与 VGC501 和 VGC502 一起，构成了 VGC50x 系列。该系列控制器广泛应用于半导体、薄膜沉积、真空镀膜、气体分析等领域。VGC503 作为三通道控制器，能够同时监控三个真空计的运行状态，并提供详细的参数设置和数据记录功能

二、功能特点

1. 高精度测量：采用 -16 位 A/D 转换器，确保测量结果的高精度和稳定性

2. 多通道控制：支持三通道测量，适用于单个真空计或多个真空计的组合使用
   

3. 自动识别功能：能够自动识别 INFICON 主动式真空计，简化了用户的操作流程

4. 数据记录与分析：通过 USB 接口和以太网接口，支持数据的在线记录和远程访问，便于用户进行数据分析和报告生成

5. 可编程设定点：每个通道可以设置两个可自由定义的设定点，并支持可调迟滞功能，提高了控制的灵活性和准确性

6. 图形化显示：配备 LCD 显示屏，支持点阵菜单引导，便于用户快速访问和设置参数

7. 多种接口：提供 D-Sub 15-pin 接口，以及 USB、以太网等接口，支持多种通信方式

三、选型指南

在选择 INFICON VGC503 时，用户应根据其具体的应用需求进行选型。例如，如果需要同时监控多个真空计，VGC503 是一个理想的选择；如果只需要单个真空计的监控，则可以选择 VGC501。此外，用户还应考虑设备的电源电压、工作温度范围以及接口类型等因素

四、技术参数

测量范围：10⁻¹⁰ 至 1500 mbar（10⁻¹⁰ 至 1125 Torr）

测量单位：支持 mbar、Torr、Pa、hPa、Micron、V 等多种单位

电源电压：100-240 V AC，频率 50-60 Hz

功率消耗：VGC503 的最大功率为 90 W

工作温度：+5 至 +50°C

接口类型：D-Sub 15-pin、USB、以太网

五、产品尺寸

INFICON VGC503 的尺寸为：宽度 106.3 毫米，高度 84 毫米，深度 91.4 毫米。设备的主体部分长度为 203.5 毫米，厚度为 2.5 毫米。

六、应用领域

INFICON VGC503 广泛应用于以下领域：

1. 半导体制造：用于薄膜沉积、真空镀膜等工艺的监控和控制

2. 气体分析：在气体分析和测量中，提供高精度的压强数据

3. 真空系统：在各种真空系统中，如真空泵、真空管道等，用于监测和控制压强

4. 工业设备：在工业设备中，如真空发生器、真空计等，用于确保设备的正常运行

七、总结

INFICON VGC503 是一款高性能的真空压力控制器，适用于多种工业应用。其高精度测量、多通道控制、自动识别功能以及灵活的数据记录和分析能力，使其成为许多真空系统中的理想选择。在选型时，用户应根据具体需求和环境条件进行合理选择，以确保设备的性能和可靠性