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德国铜丝棉250g是一种专为半导体制造及精密清洁场景设计的高纯度耗材,其核心功能是为布鲁纳克薄膜半导体生产提供表面处理支持

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一、产品介绍

德国铜丝棉250g是一种专为半导体制造及精密清洁场景设计的高纯度耗材,其核心功能是为布鲁纳克薄膜半导体生产提供表面处理支持。该产品以欧洲工艺标准生产,采用高纯度黄铜材质,通过特殊编织工艺形成均匀的纤维结构,适用于半导体晶圆、薄膜沉积层及高精度光学元件的表面清洁与预处理。其纤维密度和硬度经过优化,可在不损伤基材的前提下有效去除微米级颗粒污染物,满足半导体制造对洁净度的严苛要求。

二、功能特点

  1. 高纯度材质:采用符合欧洲标准的黄铜合金,杂质含量低于0.01%,避免金属离子污染对半导体性能的影响。

  2. 精密纤维结构:纤维直径均匀性控制在±5%以内,确保清洁过程中压力分布一致,避免局部划伤。

  3. 抗静电性能:表面经过特殊处理,摩擦静电电压低于100V,防止静电吸附颗粒物。

  4. 耐化学腐蚀:可兼容常见半导体清洗剂(如异丙醇、氢氟酸缓冲液),在pH 2-12范围内保持结构稳定性。

  5. 低粉尘释放:通过激光粒度分析仪检测,使用后粉尘释放量低于0.3mg/m³,符合ISO 14644-1 Class 3洁净室标准。

三、选型指南

  1. 应用场景匹配

    • 薄膜沉积前处理:推荐选择纤维密度≥800根/cm²的型号,以增强对纳米级颗粒的吸附能力。

    • 晶圆背面清洁:可选配表面涂层处理版本,减少金属离子残留。

  2. 清洁对象适配

    • 针对硅基半导体,建议使用标准硬度版本;针对化合物半导体(如GaN),需选择低硬度版本以避免表面损伤。

  3. 兼容性验证:使用前需确认与清洗剂、工艺温度(≤150℃)及压力(≤0.5MPa)的兼容性。

四、技术参数

  • 材质:C2680 R-EH铜合金(Cu≥62%,Pb≤0.05%,Zn≤38%)

  • 密度:8.9g/cm³

  • 抗拉强度:≥350MPa

  • 延伸率:≥8%

  • 耐温范围:-40℃至200℃

  • 清洁效率:对0.3μm颗粒去除率≥99.7%(基于ASTM F51-13标准)

  • 使用寿命:单次使用后纤维磨损率≤15%(基于10次循环测试)

五、产品尺寸

  • 单卷规格:直径120mm,宽度50mm,净重250g

  • 纤维长度:单根纤维长度5-8mm,编织密度800-1200根/cm²

  • 包装形式:真空密封袋+防静电盒,每箱含10卷

六、应用领域

  1. 半导体制造

    • 晶圆表面预清洁(去除光刻胶残留、金属离子)

    • 薄膜沉积层表面活化处理

    • 芯片封装前基板清洁

  2. 光电元件加工

    • 激光器腔体镜面抛光

    • 光纤连接器端面清洁

  3. 高精度机械制造

    • 轴承表面除锈

    • 液压阀芯密封面预处理

七、总结

德国铜丝棉250g凭借其高纯度材质、精密纤维结构及优异的抗静电性能,成为布鲁纳克薄膜半导体生产中不可或缺的表面处理耗材。其选型需结合具体工艺需求,通过材质、硬度及兼容性验证确保最佳效果。在半导体行业向更小线宽、更高集成度发展的趋势下,该产品通过持续优化纤维均匀性与耐化学性,为提升良品率提供了可靠保障。建议用户根据实际工况选择适配型号,并遵循单次使用原则以避免交叉污染。

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